- ионное напыление
- ion evaporation
Русско-английский словарь по микроэлектронике. 2013.
Русско-английский словарь по микроэлектронике. 2013.
ионное напыление тонкой плёнки — joninis plonojo sluoksnio dulkinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. thin film ion sputtering vok. Dünnschichtsputtern, n rus. ионное напыление тонкой плёнки, n pranc. évaporation ionique de couche mince, f … Radioelektronikos terminų žodynas
НАПЫЛЕНИЕ ВАКУУМНОЕ — нанесение пленок или слоев на пов сть деталей или изделий в условиях вакуума (1,0 1 Х 10 7 Па). Н. в. используют в планарной технологии полупроводниковых микросхем, в произ ве тонкопленочных гибридных схем, изделий пьезотехники, акустоэлектроники … Химическая энциклопедия
Dünnschichtsputtern — joninis plonojo sluoksnio dulkinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. thin film ion sputtering vok. Dünnschichtsputtern, n rus. ионное напыление тонкой плёнки, n pranc. évaporation ionique de couche mince, f … Radioelektronikos terminų žodynas
joninis plonojo sluoksnio dulkinimas — statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. thin film ion sputtering vok. Dünnschichtsputtern, n rus. ионное напыление тонкой плёнки, n pranc. évaporation ionique de couche mince, f … Radioelektronikos terminų žodynas
thin-film ion sputtering — joninis plonojo sluoksnio dulkinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. thin film ion sputtering vok. Dünnschichtsputtern, n rus. ионное напыление тонкой плёнки, n pranc. évaporation ionique de couche mince, f … Radioelektronikos terminų žodynas
évaporation ionique de couche mince — joninis plonojo sluoksnio dulkinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. thin film ion sputtering vok. Dünnschichtsputtern, n rus. ионное напыление тонкой плёнки, n pranc. évaporation ionique de couche mince, f … Radioelektronikos terminų žodynas
Микроэлектроника — область электроники (См. Электроника), занимающаяся созданием электронных функциональных узлов, блоков и устройств в микроминиатюрном интегральном исполнении. Возникновение М. в начале 60 х гг. 20 в. было вызвано непрерывным усложнением… … Большая советская энциклопедия
Селективное травление — (или избирательное травление) термин применяющийся для обозначения травления преимущественно одного материала по сравнению с другим, который обладает гораздо меньшей скоростью травления. Иногда применяется при изготовлении гибридных интегральных… … Википедия